機器名	マルチコータ （真空蒸着、イオンスパッタ兼用装置）
型式	Eiko　VX-10
備品番号	81212
取得年	1982
設置場所	Ｍ1号館5階・バイオイメージング研究センター・画像部門・電子顕微鏡室
管理者 （連絡先）	バイオイメージング研究センター・画像部門・根本（内線8798）
相談者 （連絡先）	バイオイメージング研究センター・画像部門・根本（内線8798）
機器の説明	[この機器でできること]　各種金属（カーボン、白金、金等）の蒸着、イオンエッチング（イオンクリーニング、親水性処理）、イオンスパッタリング等、多目的に使用可能。具体的には、超薄切片のカーボン補強、プラスチック支持膜の親水性処理、微小試料のシャドーイング、走査電顕試料の金属被覆、粘液などのエッチング処理などに使用できます。 [操作法の概略]　取扱い実習受講時に解説。 [使用に際しての注意事項]　蒸着ヘッド、電極の交換にて多機能、多目的に使用可能ですが、それぞれの注意事項に従い使用して下さい。高電圧がかかりますので取扱いに留意して下さい。 [その他]　蒸着金属が異なりますので、次回の利用者の迷惑（コンタミネーション）にならぬよう、使用後は、各自クリーニングを行って下さい。2012.12現在、回転ジンバル使用不可。
機器の使用例