機器名 | イオンスパッタコータ | ![]() |
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型式 | Cressington Suputter Coater 108 auto | |
備品番号 | 960112 (本体) 970028 (膜厚計) |
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取得年 | 1997 | |
設置場所 | M1号館5階・バイオイメージング研究センター・画像部門・電子顕微鏡室 | |
管理者 (連絡先) |
バイオイメージング研究センター・画像部門・根本(内線8798) | |
相談者 (連絡先) |
バイオイメージング研究センター・画像部門・根本(内線8798) | |
機器の説明 | [この機器でできること] 走査電顕試料の金属被覆。膜厚計が附属されているため、正確な数値の読み取り可。金属材料は、金パラジウムの合金がセットされている。 [操作法の概略] [使用に際しての注意事項] Tooling factor,Densityなどの設定条件は、変更しないで下さい(金属材料に応じて既に設定済み)。 [その他] チャンバーは耐圧ガラスで割れ易く、破損すると真空漏れが生じるため陽極を開ける際は、からならずガイドを使用して下さい。 |
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機器の使用例 |