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機器名 イオンスパッタコータ イオンスパッタコータ
型式 Cressington Suputter Coater 108 auto
備品番号 960112 (本体)
970028 (膜厚計)
取得年 1997
設置場所 M1号館5階・バイオイメージング研究センター・画像部門・電子顕微鏡室
管理者
(連絡先)
バイオイメージング研究センター・画像部門・根本(内線8798)
相談者
(連絡先)
バイオイメージング研究センター・画像部門・根本(内線8798)
機器の説明 [この機器でできること] 走査電顕試料の金属被覆。膜厚計が附属されているため、正確な数値の読み取り可。金属材料は、金パラジウムの合金がセットされている。

[操作法の概略]  

[使用に際しての注意事項] Tooling factor,Densityなどの設定条件は、変更しないで下さい(金属材料に応じて既に設定済み)。

[その他] チャンバーは耐圧ガラスで割れ易く、破損すると真空漏れが生じるため陽極を開ける際は、からならずガイドを使用して下さい。
  
機器の使用例  

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